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一种新型综合的多轴配置并联运动学机构第1部分关于制作的运动学设计[外文翻译],附件c：译文 一种新型综合的多轴配置并联运动学机构第1部分.关于制作的运动学设计摘要多轴微型和配置系统正越来越多地用于大部分的计量和工艺设备相关领域纳米科技。这一点，首要的一个由两部分组成的系列文章对一种新型的压电陶瓷驱动，平行运动轴xyz维的配置（ pkxyznp ） 现阶段，专注于发展一个可行的计划，以实现抽象的空...
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内容介绍
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附件C：译文
一种新型综合的多轴配置并联运动学机构第1部分.关于制作的运动学设计
摘要
多轴微型和配置系统正越来越多地用于大部分的计量和工艺设备相关领域纳米科技。这一点，首要的一个由两部分组成的系列文章对一种新型的压电陶瓷驱动，平行运动轴XYZ维的配置（ pkxyznp ） 现阶段，专注于发展一个可行的计划，以实现抽象的空间转化。第一，这个机械装置是容纳了两个封闭形式解决方案;正向和反向运动学的问题。雅可比与动力系统表明，该机械结构产生相关的比较大的工作量，并且能将高带宽和均匀性融合交叉。制备系统描述随着的一些基本测试，其雅可比及其模态频率。用电容计，这样的步骤是能产生85_m 左右的运动并沿每个轴分辨率约为2-4 nm左右。控制测试以及性能表现用来详细讨论相似的文件。
关键词：纳米;平行运动学;柔性阶段;运动学分析;步骤设计
1. 介绍
纳米手段在现代技术中扮演一个越来越重要角色, 特别在微型和纳米领域。 他们发现在微型和纳米领域 (例如版本记录石版印刷)，扫描探针显微学的应用，和各种各样的扫描探用的探针或基于工具的计量学和处理设备[1-7]。 当有很多纳米手段的定义阶段时，这里我们提到可能自动地安置一个工作台的系统(末端效应器)与某一程度自主(DOF)在它的在线工作并且维护一些毫微米等级的方案。
特别是，这里我们处理弯曲阶段和也许是一小部分一毫米的精确度，在气浮轴承阶段上相对的有能力有几厘米的移动范围。这样一些基于扫描系统的正在增加的纳米手段的应用，它的系统通常被描述为拥有大量工作范围，高分辨率和高带宽。 为了符合这些要求，研究集中在其中每一个重要组成的这些阶段： 控制和作动器、位置检测器、联接和运动学系统。这篇文章主要贡献在运动学系统、分析和控制范围内获得的协定，多轴的纳米解决方案。 这些篇章介绍关于装置了的XYZ坐标系的一个新的运动学系统，分析系统的动力学和动力学特征，讨论它的制造并且为系统提供塑造外形的测试结果。然而本文的重点在对一种新颖的平
一种新型综合的多轴配置并联运动学机构第1部分.关于制作的运动学设计
摘要
多轴微型和配置系统正越来越多地用于大部分的计量和工艺设备相关领域纳米科技。这一点，首要的一个由两部分组成的系列文章对一种新型的压电陶瓷驱动，平行运动轴XYZ维的配置（ pkxyznp ） 现阶段，专注于发展一个可行的计划，以实现抽象的空间转化。第一，这个机械装置是容纳了两个封闭形式解决方案;正向和反向运动学的问题。雅可比与动力系统表明，该机械结构产生相关的比较大的工作量，并且能将高带宽和均匀性融合交叉。制备系统描述随着的一些基本测试，其雅可比及其模态频率。用电容计，这样的步骤是能产生85_m 左右的运动并沿每个轴分辨率约为2-4 nm左右。控制测试以及性能表现用来详细讨论相似的文件。
关键词：纳米;平行运动学;柔性阶段;运动学分析;步骤设计
1. 介绍
纳米手段在现代技术中扮演一个越来越重要角色, 特别在微型和纳米领域。 他们发现在微型和纳米领域 (例如版本记录石版印刷)，扫描探针显微学的应用，和各种各样的扫描探用的探针或基于工具的计量学和处理设备[1-7]。 当有很多纳米手段的定义阶段时，这里我们提到可能自动地安置一个工作台的系统(末端效应器)与某一程度自主(DOF)在它的在线工作并且维护一些毫微米等级的方案。
特别是，这里我们处理弯曲阶段和也许是一小部分一毫米的精确度，在气浮轴承阶段上相对的有能力有几厘米的移动范围。这样一些基于扫描系统的正在增加的纳米手段的应用，它的系统通常被描述为拥有大量工作范围，高分辨率和高带宽。 为了符合这些要求，研究集中在其中每一个重要组成的这些阶段： 控制和作动器、位置检测器、联接和运动学系统。这篇文章主要贡献在运动学系统、分析和控制范围内获得的协定，多轴的纳米解决方案。 这些篇章介绍关于装置了的XYZ坐标系的一个新的运动学系统，分析系统的动力学和动力学特征，讨论它的制造并且为系统提供塑造外形的测试结果。然而本文的重点在对一种新颖的平
