使用光学凝聚x线体层照相术的激光加工处理的三维无损光学评估[外文翻译].rar

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使用光学凝聚X线体层照相术的激光加工处理的三维无损光学评估
摘要：通过对激光加工后的坑和边缘特征的成像处理，我们来说明光学凝聚X线体层照相术（OCT）作为一种评估激光加工性能的无损诊断工具的用处。使用常规电子扫描显微镜（SEM）和光学凝聚X线体层照相术对在不同激光加工条件下形成的凹坑成像处理。然后使用相应的图像，对凹坑的几何特征进行分析和比较。从这些结果中，我们可以检验应用OCT来监测激光加工性能的可行性和潜力。
关键词：光学凝聚X线体层照相术（OCT），无损诊断，激光标号

1.引言
超短波脉冲激光的发展增加了我们对激光和材料间相互作用行为的根本理解，并且大功率激光技术的进步促进了激光基材料加工的技术发展。大功率和短脉冲激光的发展，使采用典型机械工具完成的常规材料加工由工业等级的激光取代了，例如二氧化碳和掺钕钇铝石榴石激光（Nd ：YAG），它们具有成本效益优势，高精度和无接触处理的特点。
虽然激光基材料加工在制造过程的控制中显示出高的自由度，但是不必要的样品变形普遍地发生在各种各样的激光加工中，例如雕刻、标记、切割、弯曲和焊接，这是由于激光放射条件的不正当使用。为了防止激光加工质量的降低，许多研究人员把注意力集中于使用光学、声学、热学和计算方法的诊断技术的发展。例如，声波可以用来作为探测工件焊缝情况的一种手段。在焊接过程中，当卷流迅速扩张时形成的冲击波产生了声波。在激光焊接铜的过程中，高温计和红外辐射传感器用来监测表面的温度变化。另外，激光诱导的超声波在检测焊缝质量中显示了很大的可用性；电压电流霍尔传感器的应用对检测焊缝质量也是有用的。另外还有更多剥削监测方法包括光学和可见的方法。
激光加工的光学检查方法通常使用光源范围从紫外到红外的光电二极管或光电二极管列阵。在许多情况下，使用光学检查方法可以测量高度聚焦的激光束产生的等离子，并且可能从测量中得到飞溅和水珠状的信息。测量和分析在焊接条件下产生的不同颜色光源的光谱，可以确定处理机制和光学信号变异之间的相互作用。另外，使用激光光谱学，例如激光诱导衰减光谱学和激光诱导荧光光谱学，得到的可怕分析信息用来监测激光基清洁处理的质量。