在elid磨削中利用软件补偿加工非球面的在机轮廓测量系统的发展研究[外文翻译].rar

译文：

在ELID磨削中利用软件补偿加工非球面的在机轮廓测量系统的发展研究

摘要
高效准确尺寸的硬脆材料光学表面制造是一个被重大关切的光电产业。用修整（ELID镜面）研磨这种方法可以使硬脆材料表面的光洁度达到纳米级。除了表面光洁度外，改善非球面镜的外形和形式尺寸精度也是很重要的，动力学通常被认为是影响机械零件加工准确度的因素之一。软件是直接和经济的方法来克服一些运动的因素及改善尺寸精度的方法之一。最后也是最重要的一点对取得的表面轮廓的监测，以确保已完成的部分的半径更准确。所以以上机剖面测量系统基于三坐标测量机（CMM）的原则已被检查而且运用到地面的剖面半径。在这项研究中采用的软件弥补ELID镜面磨削非球面表面，以弥补车轮磨损表面轮廓测量的误差，直到BK7玻璃达到腀@惺艿南薅取�

1 概要介绍
在光学体系中，使用非球面可以控制误差和减少一些不利因素，这些都不会影响缩小视图质量的。因此，光学电子产业选择非球面透镜作为精密光学体系的一个不可或缺的要素，从而达到节约经济的目的。这里仍然有很多机会来改进加工非球面透镜的制造工艺，达到镜面粗糙精度和整个轮廓的精度达到超微米的误差。而产生自由表面更传统的方法是单点金刚石并带有快速伺服电动机的转动方法。但对于可加工的这种材质的数量，这个方法有它的限制。而湿磨法就是一种可行的工艺技术，因为这种方法具有在硬脆的表面产生透明清晰的表面的特性。湿磨法就是通过打磨和抛光工艺技术除去损坏层或加工后的痕迹达到高质量的非球面表面。但这些抛光工艺会在成品的波形精准度产生一些不利的效果。在硬脆的表面进行打磨时就会经常发生载入，消光和脱落现象，就像玻璃在超精细砂轮上加工后会产生模糊的表面。电解工艺技术是对（ELID镜面）打磨后的修饰，（这个方法是1985年6月田村介绍引进的）这个工艺方法对在硬脆的表面进行打磨抛光后不会留下模糊的表面。因此，引进的ELID镜面磨削被认为是一种生成自由高质量光学表面的里程碑，它能消除光学质量表面抛光 过程的一些不良效果和提高尺寸精准性。