喷淋式mocvd反应器输运过程的数值模拟研究.doc
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喷淋式mocvd反应器输运过程的数值模拟研究,喷淋式mocvd反应器输运过程的数值模拟研究1.8万字47页 原创作品,已通过查重系统摘要 金属有机化学气相沉积(metal organic chemical vapor,简称mocvd)是制备半导体器件、金属、金属氧化物、金属氮化物等薄膜材料的一种技术。该技术是制备微电子和光电子包括激光和微波器件的关键,是半导体技术...
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喷淋式MOCVD反应器输运过程的数值模拟研究
1.8万字 47页 原创作品,已通过查重系统
摘要 金属有机化学气相沉积(metal organic chemical vapor,简称MOCVD)是制备半导体器件、金属、金属氧化物、金属氮化物等薄膜材料的一种技术。该技术是制备微电子和光电子包括激光和微波器件的关键,是半导体技术的一项重要支柱。该技术在薄膜制备方面对薄膜材料的质量、厚度的均匀性等要求非常严格,并涉及到了复杂的气体流动与传热传质问题,并伴随着许多物理化学现象的发生。因而国内关于反应器内流场与温度场的研究只是还处于起步阶段,对于MOCVD反应器内流动进行计算并掌握其规律是十分必要的。本文简要介绍CVD基本原理,MOCVD国内外研究现状,并对喷淋式MOCVD反应器的输运过程利用FLUENT软件进行数值模拟,研究反应器内各种操作参数(如气体的流量、压强、壁面和衬底的温度等)对流场、温度场的影响,研究反应器的几何形状和尺寸对输运过程的影响。
关键词:MOCVD反应器 流场 温度场 数值模拟
1.8万字 47页 原创作品,已通过查重系统
摘要 金属有机化学气相沉积(me
关键词:MOCVD反应器 流场 温度场 数值模拟