agfto透明导电薄膜制备及其光电性能研究.doc
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agfto透明导电薄膜制备及其光电性能研究,ag/fto透明导电薄膜制备及其光电性能研究2.3万字40页原创作品，已通过查重系统 目 录第1章 绪论11.1 透明导电氧化物薄膜的概述11.1.1 tco薄膜的发展现状11.1.2 ito、azo和fto性能对比31.1.3 fto薄膜的制备41.2 fto基双层薄膜性能的优化51.2.1制备技术对透明导电薄膜性能...
内容介绍
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Ag/FTO透明导电薄膜制备及其光电性能研究
2.3万字 40页 原创作品，已通过查重系统
目 录
第1章 绪论 1
1.1 透明导电氧化物薄膜的概述 1
1.1.1 TCO薄膜的发展现状 1
1.1.2 ITO、AZO和FTO性能对比 3
1.1.3 FTO薄膜的制备 4
1.2 FTO基双层薄膜性能的优化 5
1.2.1制备技术对透明导电薄膜性能的影响 6
1.2.2制备参数对透明导电薄膜性能的影响 7
1.2.3镀膜类型对透明导电薄膜性能的影响 10
1.3 FTO薄膜的应用 11
1.3.1显示器件中的应用 11
1.3.2建筑玻璃领域中的应用 11
1.3.3在光电、光热、电热以及气敏器件中的应用 12
1.3.4其他方面的应用 12
1.4 本课题的目的、意义和研究内容 12
第2章 Ag/FTO双层复合透明导电薄膜的制备 13
2.1 实验的设计 13
2.2 实验部分 13
2.2.1 实验材料 14
2.2.2 实验仪器 14
2.2.3 实验样品的预处理 16
2.3 Ag/FTO薄膜的制备方法 17
2.3.1 镀膜方法 17
2.3.2 退火处理方法 17
2.4 结果分析与讨论 18
2.4.1 薄膜的生长过程 18
2.4.2 生长模式 19
2.4.3 不同厚度的金属Ag层对Ag/FTO薄膜表面形貌的影响 20
2.4.4退火对Ag/FTO薄膜表面形貌的影响 21
2.5 本章小结 22
第3章 Ag/FTO薄膜光电性能测试与分析 23
3.1 样品性能测试 23
3.1.1 紫外可见分光光度计 23
3.1.2 四探针测试仪 24
3.2 结果分析与讨论 25
3.2.1 金属Ag层厚度和退火对Ag/FTO薄膜表面光学性能的影响 25
3.2.2 金属Ag层厚度和退火对Ag/FTO薄膜电学性能的影响 27
3.2.3 不同薄膜样品的品质因子 28
3.3 本章小结 29
第4章 结论与展望 30
4.1 结论 30
4.2 展望 30
致 谢 32
参考文献 33
摘要 本文通过磁控溅射法制备出Ag/FTO双层透明导电薄膜，并通过SEM、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计对薄膜的形貌与性能进行表征和分析，探讨了不同制备工艺参数对Ag/FTO双层透明导电薄膜的光学、电学性能的影响，还计算了不同薄膜的品质因子。主要结论如下：
(1) 探讨了不同的金属Ag层厚度对Ag/FTO双层透明导电薄膜表面光学性能的影响。由于金属Ag层透光性能差，因此与单层FTO透明导电薄膜相比，Ag/FTO双层透明导电薄膜的透光率会有所降低，且随着金属Ag层的厚度的增加而下降。
(2) 探讨了不同的金属Ag层厚度对Ag/FTO双层透明导电薄膜电学性能的影响。与单层FTO薄膜相比，镀Ag后的 Ag/FTO双层透明导电薄膜具有更高的导电率，且导电率随着金属Ag层厚度的增加而不断增加。
(3) 对不同薄膜样品的综合光电性能进行了评价。金属Ag层厚度为5 nm、且经过退火处理的Ag/FTO 双层透明导电薄膜的综合光电性能最好，其品质因子为11.0×10-3 Ω-1。
关键词：Ag/FTO薄膜 磁控溅射 光电性能 品质因子
2.3万字 40页 原创作品，已通过查重系统
目 录
第1章 绪论 1
1.1 透明导电氧化物薄膜的概述 1
1.1.1 TCO薄膜的发展现状 1
1.1.2 ITO、AZO和FTO性能对比 3
1.1.3 FTO薄膜的制备 4
1.2 FTO基双层薄膜性能的优化 5
1.2.1制备技术对透明导电薄膜性能的影响 6
1.2.2制备参数对透明导电薄膜性能的影响 7
1.2.3镀膜类型对透明导电薄膜性能的影响 10
1.3 FTO薄膜的应用 11
1.3.1显示器件中的应用 11
1.3.2建筑玻璃领域中的应用 11
1.3.3在光电、光热、电热以及气敏器件中的应用 12
1.3.4其他方面的应用 12
1.4 本课题的目的、意义和研究内容 12
第2章 Ag/FTO双层复合透明导电薄膜的制备 13
2.1 实验的设计 13
2.2 实验部分 13
2.2.1 实验材料 14
2.2.2 实验仪器 14
2.2.3 实验样品的预处理 16
2.3 Ag/FTO薄膜的制备方法 17
2.3.1 镀膜方法 17
2.3.2 退火处理方法 17
2.4 结果分析与讨论 18
2.4.1 薄膜的生长过程 18
2.4.2 生长模式 19
2.4.3 不同厚度的金属Ag层对Ag/FTO薄膜表面形貌的影响 20
2.4.4退火对Ag/FTO薄膜表面形貌的影响 21
2.5 本章小结 22
第3章 Ag/FTO薄膜光电性能测试与分析 23
3.1 样品性能测试 23
3.1.1 紫外可见分光光度计 23
3.1.2 四探针测试仪 24
3.2 结果分析与讨论 25
3.2.1 金属Ag层厚度和退火对Ag/FTO薄膜表面光学性能的影响 25
3.2.2 金属Ag层厚度和退火对Ag/FTO薄膜电学性能的影响 27
3.2.3 不同薄膜样品的品质因子 28
3.3 本章小结 29
第4章 结论与展望 30
4.1 结论 30
4.2 展望 30
致 谢 32
参考文献 33
摘要 本文通过磁控溅射法制备出Ag/FTO双层透明导电薄膜，并通过SEM、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计对薄膜的形貌与性能进行表征和分析，探讨了不同制备工艺参数对Ag/FTO双层透明导电薄膜的光学、电学性能的影响，还计算了不同薄膜的品质因子。主要结论如下：
(1) 探讨了不同的金属Ag层厚度对Ag/FTO双层透明导电薄膜表面光学性能的影响。由于金属Ag层透光性能差，因此与单层FTO透明导电薄膜相比，Ag/FTO双层透明导电薄膜的透光率会有所降低，且随着金属Ag层的厚度的增加而下降。
(2) 探讨了不同的金属Ag层厚度对Ag/FTO双层透明导电薄膜电学性能的影响。与单层FTO薄膜相比，镀Ag后的 Ag/FTO双层透明导电薄膜具有更高的导电率，且导电率随着金属Ag层厚度的增加而不断增加。
(3) 对不同薄膜样品的综合光电性能进行了评价。金属Ag层厚度为5 nm、且经过退火处理的Ag/FTO 双层透明导电薄膜的综合光电性能最好，其品质因子为11.0×10-3 Ω-1。
关键词：Ag/FTO薄膜 磁控溅射 光电性能 品质因子
