fto透明导电薄膜激光退火处理及其光电性能研究.doc
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fto透明导电薄膜激光退火处理及其光电性能研究,fto透明导电薄膜激光退火处理及其光电性能研究2.4万字40页 原创作品，已通过查重系统 目录摘要iabstractii第1章 绪论11.1 透明导电氧化物薄膜的概述11.1.1 透明导电氧化物薄膜11.1.2 二氧化锡材料的结构特征21.1.3 氧化锡的掺杂性质31.1.4 氧化锡材料的性质41.1.5 fto薄膜的...
内容介绍
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FTO透明导电薄膜激光退火处理及其光电性能研究
2.4万字 40页 原创作品，已通过查重系统
目 录
摘要 I
Abstract II
第1章 绪论 1
1.1 透明导电氧化物薄膜的概述 1
1.1.1 透明导电氧化物薄膜 1
1.1.2 二氧化锡材料的结构特征 2
1.1.3 氧化锡的掺杂性质 3
1.1.4 氧化锡材料的性质 4
1.1.5 FTO薄膜的晶体结构与光电性质 6
1.2 FTO 薄膜退火处理 7
1.2.1 热退火处理 7
1.2.2 激光退火处理 9
1.3 FTO薄膜的应用 10
1.4 本课题的目的、意义和研究内容 12
第2章 FTO薄膜的激光退火 13
2.1 实验的设计 13
2.2 实验部分 14
2.2.1 实验材料 14
2.2.2 实验仪器 15
2.2.3 实验样品的预处理 17
2.3 激光处理方法 17
2.4 结果分析与讨论 18
2.4.1 激光能量密度对 FTO 薄膜表面形貌的影响 18
2.4.1 激光扫描速度对 FTO 薄膜表面形貌的影响 19
2.5 本章小结 20
第3章 FTO薄膜光学和电学性能测试与分析 21
3.1 样品性能测试 21
3.1.1 紫外可见分光光度计 21
3.1.2 四探针测试仪 22
3.2 结果分析与讨论 23
3.2.1 激光参数对 FTO 薄膜表面光学性能的影响 23
3.2.2 激光参数对 FTO 薄膜表面电学性能的影响 26
3.2.3 不同薄膜样品的品质因子值 27
3.3 本章小结 28
第4章 结论与展望 29
4.1 结论 29
4.2 展望 29
致 谢 31
参考文献 32
摘要 近年来，随着太阳能电池、触摸屏、液晶显示等行业的发展，使得透明导电薄膜(TCO)成为不可或缺的材料。由于目前常用的ITO薄膜材料中的金属铟资源稀缺且具有毒性，因此寻找一种性能与ITO薄膜光学和电学性能类似或更加优异的材料已成为研究的热点之一。FTO 薄膜价格较为低廉，且不具毒性，在发展上具有潜在的优势。因此，对于 FTO 薄膜材料及其制备技术的研发，引起了大家的广泛重视。本文采用不同激光参数对 FTO 薄膜进行辐照处理，通过 SEM、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计对薄膜的形貌与性能进行表征和分析，探讨了激光能量密度和激光扫描速度对薄膜的光学、电学性能的影响，还估算了不同薄膜的品质因子。结果表明，与原FTO 薄膜相比，经激光辐照处理的 FTO 薄膜透光率会发生改变。随着能量密度/扫描速度的增大，透光率会随着波长先增大后减小，且方块电阻明显降低。实验中，当激光能量密度 F=1.0 J/cm2和扫描速度 v=10 mm/s时，经激光退火的 FTO 薄膜的光学和电学性能相对较好，其品质因子值最大，为7.51×10-3 Ω-1，高于未处理 FTO 薄膜的6.80×10-3 Ω-1，表明该薄膜具有最佳的综合光学和电学性能。
关键词：激光退火 FTO薄膜 透光率 方块电阻 品质因子
2.4万字 40页 原创作品，已通过查重系统
目 录
摘要 I
Abstract II
第1章 绪论 1
1.1 透明导电氧化物薄膜的概述 1
1.1.1 透明导电氧化物薄膜 1
1.1.2 二氧化锡材料的结构特征 2
1.1.3 氧化锡的掺杂性质 3
1.1.4 氧化锡材料的性质 4
1.1.5 FTO薄膜的晶体结构与光电性质 6
1.2 FTO 薄膜退火处理 7
1.2.1 热退火处理 7
1.2.2 激光退火处理 9
1.3 FTO薄膜的应用 10
1.4 本课题的目的、意义和研究内容 12
第2章 FTO薄膜的激光退火 13
2.1 实验的设计 13
2.2 实验部分 14
2.2.1 实验材料 14
2.2.2 实验仪器 15
2.2.3 实验样品的预处理 17
2.3 激光处理方法 17
2.4 结果分析与讨论 18
2.4.1 激光能量密度对 FTO 薄膜表面形貌的影响 18
2.4.1 激光扫描速度对 FTO 薄膜表面形貌的影响 19
2.5 本章小结 20
第3章 FTO薄膜光学和电学性能测试与分析 21
3.1 样品性能测试 21
3.1.1 紫外可见分光光度计 21
3.1.2 四探针测试仪 22
3.2 结果分析与讨论 23
3.2.1 激光参数对 FTO 薄膜表面光学性能的影响 23
3.2.2 激光参数对 FTO 薄膜表面电学性能的影响 26
3.2.3 不同薄膜样品的品质因子值 27
3.3 本章小结 28
第4章 结论与展望 29
4.1 结论 29
4.2 展望 29
致 谢 31
参考文献 32
摘要 近年来，随着太阳能电池、触摸屏、液晶显示等行业的发展，使得透明导电薄膜(TCO)成为不可或缺的材料。由于目前常用的ITO薄膜材料中的金属铟资源稀缺且具有毒性，因此寻找一种性能与ITO薄膜光学和电学性能类似或更加优异的材料已成为研究的热点之一。FTO 薄膜价格较为低廉，且不具毒性，在发展上具有潜在的优势。因此，对于 FTO 薄膜材料及其制备技术的研发，引起了大家的广泛重视。本文采用不同激光参数对 FTO 薄膜进行辐照处理，通过 SEM、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计对薄膜的形貌与性能进行表征和分析，探讨了激光能量密度和激光扫描速度对薄膜的光学、电学性能的影响，还估算了不同薄膜的品质因子。结果表明，与原FTO 薄膜相比，经激光辐照处理的 FTO 薄膜透光率会发生改变。随着能量密度/扫描速度的增大，透光率会随着波长先增大后减小，且方块电阻明显降低。实验中，当激光能量密度 F=1.0 J/cm2和扫描速度 v=10 mm/s时，经激光退火的 FTO 薄膜的光学和电学性能相对较好，其品质因子值最大，为7.51×10-3 Ω-1，高于未处理 FTO 薄膜的6.80×10-3 Ω-1，表明该薄膜具有最佳的综合光学和电学性能。
关键词：激光退火 FTO薄膜 透光率 方块电阻 品质因子
