zao(掺铝氧化锌)透明导电膜的制备及其性能的研究.doc
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zao(掺铝氧化锌)透明导电膜的制备及其性能的研究,zao(掺铝氧化锌)透明导电膜的制备及其性能的研究study on the preparation and properties of aluminum-doped zinc oxide films1.5万字34页 原创作品，已通过查重系统 摘要 zao导电膜由于自身优良的光学和电学性质而备受人们青睐。与传统的tio导...
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ZAO(掺铝氧化锌)透明导电膜的制备及其性能的研究
Study on the Preparation and Properties of Aluminum-doped Zinc Oxide Films
1.5万字 34页 原创作品，已通过查重系统
摘要 ZAO导电膜由于自身优良的光学和电学性质而备受人们青睐。与传统的TIO导电膜相比ZAO导电膜具有如下一些突出的优点:原材料在自然界中的储量丰富、易于制造、成本低廉、无毒、热稳定性和化学稳定性好。因此具有广阔的应用前景适用于平板显示器、太阳电池、热镜、电磁防护屏、气敏传感器等，因此，ZAO透明导电薄膜必将成为新一代透明导电氧化物薄膜的代表。
当前，ZAO透明导电薄膜的制备还存在以下问题:大面积成膜的技术设备还不过关，实验的可重复性和可靠性不好，薄膜的厚度和成分都不均匀，质量不好，
不同设备的最佳制备参数差别也很大。因此，通过对 ZAO 导电膜制备的研究，分析各制备参数和薄膜光学、电学等物理性质之间的内在关系，摸索出最佳制备条件，制备出性能优良的 ZAO 导电膜，具有重要意义。
本实验中，我们使用直流磁控溅射装置，采用反应溅射的方法，在普通无机
玻璃衬底上制备掺铝氧化锌(ZAO)薄膜，通过改变衬底温度、溅射功率、反应气压等条件，制备出不同的 ZAO 薄膜样品，利用 XRD、四针探测仪、紫外-可见分光光度计等测量仪器对薄膜的结构与性能进行表征和分析，研究了不同工艺参数对薄膜结构，电学，光学性能的影响。
关键词:直流反应磁控溅射，ZAO(掺铝氧化锌)导电膜，微观结构，制备参数，光电性能
Study on the Preparation and Properties of Aluminum-doped Zinc Oxide Films
1.5万字 34页 原创作品，已通过查重系统
摘要 ZAO导电膜由于自身优良的光学和电学性质而备受人们青睐。与传统的TIO导电膜相比ZAO导电膜具有如下一些突出的优点:原材料在自然界中的储量丰富、易于制造、成本低廉、无毒、热稳定性和化学稳定性好。因此具有广阔的应用前景适用于平板显示器、太阳电池、热镜、电磁防护屏、气敏传感器等，因此，ZAO透明导电薄膜必将成为新一代透明导电氧化物薄膜的代表。
当前，ZAO透明导电薄膜的制备还存在以下问题:大面积成膜的技术设备还不过关，实验的可重复性和可靠性不好，薄膜的厚度和成分都不均匀，质量不好，
不同设备的最佳制备参数差别也很大。因此，通过对 ZAO 导电膜制备的研究，分析各制备参数和薄膜光学、电学等物理性质之间的内在关系，摸索出最佳制备条件，制备出性能优良的 ZAO 导电膜，具有重要意义。
本实验中，我们使用直流磁控溅射装置，采用反应溅射的方法，在普通无机
玻璃衬底上制备掺铝氧化锌(ZAO)薄膜，通过改变衬底温度、溅射功率、反应气压等条件，制备出不同的 ZAO 薄膜样品，利用 XRD、四针探测仪、紫外-可见分光光度计等测量仪器对薄膜的结构与性能进行表征和分析，研究了不同工艺参数对薄膜结构，电学，光学性能的影响。
关键词:直流反应磁控溅射，ZAO(掺铝氧化锌)导电膜，微观结构，制备参数，光电性能
