内应力驱动下低量程压力传感器灵敏度的研究.doc

内应力驱动下低量程压力传感器灵敏度的研究

2万字 43页 原创作品，已通过查重系统

摘要
传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志，它与通信技术、计算机技术够成现代信息产业的三大支柱。在各种传感器中，硅压力传感器是应用最为广泛的一种。压阻式传感器广泛地应用航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。随着微电子技术和计算机的进一步发展，压阻式传感器的应用还将迅速发展。随着当前测试技术的发展，要求压力传感器量程越来越小，分辨率越来越高。
本文首先对硅压阻式压力传感器的工作原理及其结构特点进行了分析，然后进行传感器的结构及芯片设计。通过对感压薄膜的力学结构的分析与比较，总结出优化传感器结构的方法。同时考虑到温度漂移对传感器有比较大的影响，分析几种典型温度补偿电路来提高传感器性能。然后采用ANSYS软件对传感器芯片结构进行模拟仿真，研究了压力传感器的特性。最后考虑薄膜上的内应力分为张应力和压应力，研究薄膜内应力对低量程压力传感器灵敏度的影响。


关键词：压力传感器；低量程；薄膜应力；灵敏度