声光波导相位调制器的制备与特性参数测试实验.rar

本文首先介绍了介质光波导和声表面波理论，讨论了光波调制及声光作用原理，深入研究了声表面波对条波导的相位调制。对氧化锌薄膜和叉指换能器进行了优化设计和性能结构参数的选择，氧化锌薄膜参数为5000 1000 3 ，叉指换能器参数为：叉指对数N=17、中心距 =27.19 、声光频率f0=48MHz、中心指长L0=4.46mm。研究了氧化锌薄膜、叉指换能器的制备工艺，进行了大量的实验研究，总结给出了基本的工艺制作过程和一些注意事项。
对所完成的器件进行了测试研究：微观结构观察、膜厚精确测试，获得了较理想的实验结果。