洁净区悬浮粒子监测的标准操作规程.doc

摘要：........ 测试频次：
洁净度级别 测试频次
100 1次/周
10,000 1次/1月
100,000 1次/3月
300,000 1次/6月

5.4. 悬浮粒子计数：
5.4.1. 采样点数目及其布置：
5.4.1.1. 最少采样点数目：悬浮粒子洁净度测试的最少采样点数目可以查表1确定。
表1
最少采样点数目
面积(m2) 洁净级别
100 10000 100000 300000
＜10 2-3 2 2 2
≥10~＜20 4 2 2 2
≥20~＜40 8 2 2 2
≥40~＜100 16 4 4 2
≥100~＜200 40 10 3 2
≥200~＜400 80 20 6 4

页数：5页 字数：1，831 关键字：洁净区，悬浮粒子，监测，标准，操作规程