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微生物研究毕业设计外文翻译,包括pdf英文原文和word中文翻译,其中中文7820字 21页,英文13页,含详细作者及出处信息触针式轮廓仪,原子力显微镜和非接触式光学轮廓仪测量表面粗糙度的比较              chin y. poon, bharat bhushan美国俄亥俄州立大学微生物和污染研究实验室机械工程部门1994年12月22...
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包括pdf英文原文和word中文翻译,其中中文7820字 21页,英文13页,含详细作者及出处信息


触针式轮廓仪,原子力显微镜和非接触式光学轮廓仪测量表面粗糙度的比较
              Chin Y. Poon, Bharat Bhushan
美国俄亥俄州立大学微生物和污染研究实验室机械工程部门
1994年12月22日收到,1995年5月24日接受

摘要
   用触针( SP法)、原子力显微镜( AFM )和非接触式光学轮廓仪( nop )测量玻璃陶瓷基底的表面粗糙度,不同的测量方法得到的表面测量结果存在一定的不同,经过调查当用触针( SP法)、原子力显微镜(AFM)和非接触式光学轮廓仪测量粗糙度时的影响参数有触针的大小,扫描尺寸的大小和采样间隔,结论是原子力显微镜最合适测量玻璃陶瓷基底表面的粗糙度。如果用触针来测量尖端半径大小可达到0.2μm,但是可能会由于出现高接触应力而局部损坏测试表面,因为玻璃陶瓷基底含亚微米大小的粗糙度,非接触式光学轮廓仪放大倍数是(40x客观放大倍数)或更低,所以不推荐使用。
关键词:比较表面形貌,触针的大小,扫描尺寸大小,采样间隔区间,玻璃陶瓷基底