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微位移技术概述

[摘要] 随着社会的发展和科学技术的进步，人类对各类设备的精密度要求越来越高，这推动了精密、超精密技术的发展，也带动了直接影响精密、超精密加工精度、精密测量精度及超大规模集成电路生产水平的微位移技术的发展，作为精密机械与精密仪器的关键技术之一—微位移技术是近年来随着微电子技术、宇航、生物工程等学科的发展而迅速的发展起来，在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位。本文主要介绍了各类微位移平台的驱动原理及目前国内外研究现状。

[关 键 词] 微位移平台 驱动原理 关键技术 现状 发展趋势