梯度掺杂cctozno复合薄膜的制备及性能研究.doc
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梯度掺杂cctozno复合薄膜的制备及性能研究,梯度掺杂ccto/zno复合薄膜的制备及性能研究2万字 50页原创作品，独家提交，已通过查重系统 摘要梯度掺杂复合ccto/zno薄膜是一种既拥有大的电容量，又拥有压敏特性的新型薄膜材料。用其制成的元件等效于压敏电阻器和电容器的并联，在集成电路等方面有很大的应用前景。本文应用溶胶-凝胶法在硅片上制备梯度掺杂复合薄膜。所...
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梯度掺杂CCTO/ZnO复合薄膜的制备及性能研究
2万字 50页 原创作品，独家提交，已通过查重系统
摘 要
梯度掺杂复合CCTO/ZnO薄膜是一种既拥有大的电容量，又拥有压敏特性的新型薄膜材料。用其制成的元件等效于压敏电阻器和电容器的并联，在集成电路等方面有很大的应用前景。
本文应用溶胶-凝胶法在硅片上制备梯度掺杂复合薄膜。所研究的薄膜包括CCTO薄膜，CCTO/ZnO复合薄膜，梯度掺杂CCTO薄膜和梯度掺杂CCTO/ZnO复合薄膜。应用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、压敏电阻直流参数分析仪和阻抗分析仪等测试手段表征薄膜样品的相组成、显微结构、压敏性能和介电性能。
用溶胶-凝胶法在硅片上制备的CCTO薄膜，实验发现退火温度对薄膜表面结构、晶粒的大小和介电性能有一定的影响。而CCTO薄膜的物相组成也与退火温度有关。实验制备的CCTO薄膜的介电常数高达7800。采用溶胶-凝胶法制备的梯度掺杂CCTO薄膜、CCTO/ZnO复合薄膜和梯度掺杂CCTO/ZnO复合薄膜，通过分析表明梯度掺杂CCTO/ZnO复合薄膜的压敏性能和介电性能是最好的。
关键词：梯度掺杂；压敏性能；介电性能；溶胶-凝胶法
2万字 50页 原创作品，独家提交，已通过查重系统
摘 要
梯度掺杂复合CCTO/ZnO薄膜是一种既拥有大的电容量，又拥有压敏特性的新型薄膜材料。用其制成的元件等效于压敏电阻器和电容器的并联，在集成电路等方面有很大的应用前景。
本文应用溶胶-凝胶法在硅片上制备梯度掺杂复合薄膜。所研究的薄膜包括CCTO薄膜，CCTO/ZnO复合薄膜，梯度掺杂CCTO薄膜和梯度掺杂CCTO/ZnO复合薄膜。应用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、压敏电阻直流参数分析仪和阻抗分析仪等测试手段表征薄膜样品的相组成、显微结构、压敏性能和介电性能。
用溶胶-凝胶法在硅片上制备的CCTO薄膜，实验发现退火温度对薄膜表面结构、晶粒的大小和介电性能有一定的影响。而CCTO薄膜的物相组成也与退火温度有关。实验制备的CCTO薄膜的介电常数高达7800。采用溶胶-凝胶法制备的梯度掺杂CCTO薄膜、CCTO/ZnO复合薄膜和梯度掺杂CCTO/ZnO复合薄膜，通过分析表明梯度掺杂CCTO/ZnO复合薄膜的压敏性能和介电性能是最好的。
关键词：梯度掺杂；压敏性能；介电性能；溶胶-凝胶法
