空间高能带电粒子辐射损伤数值模拟研究.doc
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空间高能带电粒子辐射损伤数值模拟研究,16343字49页原创作品,已通过查重系统摘要随着探月工程、火星探险等深空探测任务的提出、实施,航天活动在时间上的延长、空间上的延伸,尤其是载人航天工程的开展,深空辐射带来的辐射危险和防护问题日益突出。总剂量辐射效应对半导体器件的损伤及其严重,因此,本文介绍了有关总剂量辐射效应的产生...
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空间高能带电粒子辐射损伤数值模拟研究
16343字 49页 原创作品,已通过查重系统
摘 要
随着探月工程、火星探险等深空探测任务的提出、实施,航天活动在时间上的延长、空间上的延伸,尤其是载人航天工程的开展,深空辐射带来的辐射危险和防护问题日益突出。
总剂量辐射效应对半导体器件的损伤及其严重,因此,本文介绍了有关总剂量辐射效应的产生机制以及表征。利用Sentaurus TCAD仿真软件对MOS器件建模,并编程来对HfO2/SiO2叠栅MOS器件的辐照损伤进行模拟。通过仿真,并在有无辐照的两种环境下,得到了模拟器件的物理参数以及CV特性曲线图。从CV特性曲线图上提取平带电压的漂移量,通过计算得出不同辐照剂量下的氧化层陷阱电荷量,找出辐照剂量与氧化层陷阱电荷量的关系变化规律。
研究得到:辐照对器件内部电场分布、空穴电流密度、电子密度以及空间电荷的分布没有决定性影响,却对它们的大小产生了较为明显的影响。主要是增大了空穴电流密度、电子密度和空间电荷的大小,使电场强度略微降低。同时,辐照在介质中还产生了正的氧化层陷阱电荷,且氧化层陷阱电荷量随着辐照剂量的增加而近似线性增加。
关键词:空间辐射;HfO2/SiO2;总剂量效应;陷阱电荷;数值模拟
16343字 49页 原创作品,已通过查重系统
摘 要
随着探月工程、火星探险等深空探测任务的提出、实施,航天活动在时间上的延长、空间上的延伸,尤其是载人航天工程的开展,深空辐射带来的辐射危险和防护问题日益突出。
总剂量辐射效应对半导体器件的损伤及其严重,因此,本文介绍了有关总剂量辐射效应的产生机制以及表征。利用Sentaurus TCAD仿真软件对MOS器件建模,并编程来对HfO2/SiO2叠栅MOS器件的辐照损伤进行模拟。通过仿真,并在有无辐照的两种环境下,得到了模拟器件的物理参数以及CV特性曲线图。从CV特性曲线图上提取平带电压的漂移量,通过计算得出不同辐照剂量下的氧化层陷阱电荷量,找出辐照剂量与氧化层陷阱电荷量的关系变化规律。
研究得到:辐照对器件内部电场分布、空穴电流密度、电子密度以及空间电荷的分布没有决定性影响,却对它们的大小产生了较为明显的影响。主要是增大了空穴电流密度、电子密度和空间电荷的大小,使电场强度略微降低。同时,辐照在介质中还产生了正的氧化层陷阱电荷,且氧化层陷阱电荷量随着辐照剂量的增加而近似线性增加。
关键词:空间辐射;HfO2/SiO2;总剂量效应;陷阱电荷;数值模拟