深海环境下mems电导池形变特性有限元件分析.doc
约35页DOC格式手机打开展开
深海环境下mems电导池形变特性有限元件分析,深海环境下mems电导池形变特性有限元件分析1.55万字35页 原创作品，通过查重系统 摘要mems的中文名称是微机电系统，它的发展壮大是依托在微电子技术基础上，成为多学科相互涉及的科学前沿技术。与传统机械加工方法制造的传感器相比，mems传感器具有体积小、重量轻、功耗低、加工精度高、可大批量生产、成本低、易于集成等优...
内容介绍
此文档由会员 第二波打卡 发布
深海环境下MEMS电导池形变特性有限元件分析
1.55万字 35页 原创作品，通过查重系统
摘 要
MEMS的中文名称是微机电系统，它的发展壮大是依托在微电子技术基础上，成为多学科相互涉及的科学前沿技术。与传统机械加工方法制造的传感器相比，MEMS传感器具有体积小、重量轻、功耗低、加工精度高、可大批量生产、成本低、易于集成等优点，随着现如今人们对海洋观测的需求不断的增加和海洋观测的技术不断向前发展，MEMS技术正在逐步进入海洋观测技术的研究领域。电导率传感器是最常用的海洋观测器件之一，而电导池是电导率传感器的主要组成部分，当采用MEMS加工工艺制作的电导池处在深海环境中时，受到海水压力的影响，电导池会产生形变，从而影响海水电导率的测量和传感器的性能。本文以MEMS电导池为研究对象，采用有限元软件仿真的手段，对深海环境下MEMS电导池的形变特性进行理论模拟，并对模拟结果进行适当的分析研究，研究的结果可以用于指导深海环境中MEMS电导率传感器性能的提升。
关键词：深海环境下；MEMS电导池；形变特性；有限元件分析；ANSYS
1.55万字 35页 原创作品，通过查重系统
摘 要
MEMS的中文名称是微机电系统，它的发展壮大是依托在微电子技术基础上，成为多学科相互涉及的科学前沿技术。与传统机械加工方法制造的传感器相比，MEMS传感器具有体积小、重量轻、功耗低、加工精度高、可大批量生产、成本低、易于集成等优点，随着现如今人们对海洋观测的需求不断的增加和海洋观测的技术不断向前发展，MEMS技术正在逐步进入海洋观测技术的研究领域。电导率传感器是最常用的海洋观测器件之一，而电导池是电导率传感器的主要组成部分，当采用MEMS加工工艺制作的电导池处在深海环境中时，受到海水压力的影响，电导池会产生形变，从而影响海水电导率的测量和传感器的性能。本文以MEMS电导池为研究对象，采用有限元软件仿真的手段，对深海环境下MEMS电导池的形变特性进行理论模拟，并对模拟结果进行适当的分析研究，研究的结果可以用于指导深海环境中MEMS电导率传感器性能的提升。
关键词：深海环境下；MEMS电导池；形变特性；有限元件分析；ANSYS
