机械精密定位系统的研究与设计（开题报告）.doc

机械精密定位系统的研究与设计（开题报告）
1.1 选题目的
在电子、光学、机械制造等众多技术领域中，迫切需要高精度、高分辨率、高可靠性的微位移系统，用以直接工作或配合其他仪器设备完成高精度的研究和使用。精密工作台作为精密工程中的一种典型结构在精密加工、精密测试和精密机械中被广泛应用。因此，精密工作台定位控制系统的研究越来越受到人们的重视。
本次课题主要是为精密激光加工设备的激光头精确定位设计出一套可靠的定位系统。
1.2 机械精密定位系统的发展现状
微定位技术是现代制造技术的重要组成部分，在20世纪60年代，通过使用当时适用的精密机床，开始开发用于生产高质量的专用机械或光学元件的技术。整个70年代，该技术用于生产具有高精度、多功能及较低的制造成本的光学元件。到了80年代，该技术就更加广泛地用于工业生产，如制造铝制扫描镜和计算机存储盘的铝制基片等。超精密加工最近的应用是生产光学元件，这种元件具有复杂的形状，极高的几何精度及表面质量。近年来随着微电子技术、宇航、生物工程等学科的迅速发展，目前己经进入了“亚微米－纳米”时代。国外(如美国、日本等)在微位移控制技术方面研究得比较多，技术己经比较成熟，已研制出行程50mm、定位精度达士0.01 um的精密工作台。国内许多单位(如清华大学、东南大学、长春光机所等)也在从事这方面的工作，也已研制出行程在几十~几百微米精密工作台，定位精度达到士0. 05um。
1.3 机械精密定位系统的选型分析（定位系统基本组成）
1.3.1 驱动方式