[外文翻译]触针式轮廓仪，原子力显微镜和非接触式光学轮廓仪测量表面粗糙度的比较.doc
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[外文翻译]触针式轮廓仪，原子力显微镜和非接触式光学轮廓仪测量表面粗糙度的比较,触针式轮廓仪，原子力显微镜和非接触式光学轮廓仪测量表面粗糙度的比较chin y. poon, bharat bhushan美国俄亥俄州立大学微生物和污染研究实验室机械工程部门1994年12月22日收到，1995年5月24日接受摘要用触针（ sp法）、原子力显微镜（ afm ）和非接触式光学轮廓仪（ nop ）测量玻璃陶...
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触针式轮廓仪，原子力显微镜和非接触式光学轮廓仪测量表面粗糙度的比较
Chin Y. Poon, Bharat Bhushan
美国俄亥俄州立大学微生物和污染研究实验室机械工程部门
1994年12月22日收到，1995年5月24日接受
摘要
用触针（ SP法）、原子力显微镜（ AFM ）和非接触式光学轮廓仪（ nop ）测量玻璃陶瓷基底的表面粗糙度，不同的测量方法得到的表面测量结果存在一定的不同，经过调查当用触针（ SP法）、原子力显微镜（AFM）和非接触式光学轮廓仪测量粗糙度时的影响参数有触针的大小，扫描尺寸的大小和采样间隔，结论是原子力显微镜最合适测量玻璃陶瓷基底表面的粗糙度。如果用触针来测量尖端半径大小可达到0.2μm，但是可能会由于出现高接触应力而局部损坏测试表面，因为玻璃陶瓷基底含亚微米大小的粗糙度，非接触式光学轮廓仪放大倍数是（40x客观放大倍数）或更低，所以不推荐使用。
关键词：比较表面形貌，触针的大小，扫描尺寸大小，采样间隔区间，玻璃陶瓷基底
1．导言
Chin Y. Poon, Bharat Bhushan
美国俄亥俄州立大学微生物和污染研究实验室机械工程部门
1994年12月22日收到，1995年5月24日接受
摘要
用触针（ SP法）、原子力显微镜（ AFM ）和非接触式光学轮廓仪（ nop ）测量玻璃陶瓷基底的表面粗糙度，不同的测量方法得到的表面测量结果存在一定的不同，经过调查当用触针（ SP法）、原子力显微镜（AFM）和非接触式光学轮廓仪测量粗糙度时的影响参数有触针的大小，扫描尺寸的大小和采样间隔，结论是原子力显微镜最合适测量玻璃陶瓷基底表面的粗糙度。如果用触针来测量尖端半径大小可达到0.2μm，但是可能会由于出现高接触应力而局部损坏测试表面，因为玻璃陶瓷基底含亚微米大小的粗糙度，非接触式光学轮廓仪放大倍数是（40x客观放大倍数）或更低，所以不推荐使用。
关键词：比较表面形貌，触针的大小，扫描尺寸大小，采样间隔区间，玻璃陶瓷基底
1．导言
